基于磁控濺射的氮化物薄膜摩擦與腐蝕性能研究

摘要： 通過(guò)磁控濺射法在Ti45Nb合金表面濺射了TiN、ZrN和ZrTiN無(wú)毒陶瓷薄膜。采用掃描電鏡、X射線衍射對(duì)樣品的微觀以及相結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。樣品的摩擦磨損性能通過(guò)往復(fù)式摩擦試驗(yàn)機(jī)進(jìn)行評(píng)價(jià)，而其腐蝕性能通過(guò)Tafel極化和電化學(xué)阻抗譜測(cè)量來(lái)評(píng)價(jià)。結(jié)果表明：薄膜的結(jié)構(gòu)都為面心立方結(jié)構(gòu)，且都沿（200）方向擇優(yōu)生長(zhǎng)。相比于TiN和ZrN薄膜，ZrTiN薄膜為合金化復(fù)合薄膜，改變了Ti... （共6頁(yè)）