單晶SiC磁流變彈性拋光墊的磁控拋光性能研究
潤(rùn)滑與密封
頁(yè)數(shù)： 9 2023-07-28
摘要： 將智能可控材料磁流變彈性體(MRE)作為化學(xué)機(jī)械拋光中的拋光墊，研究不同磁控參數(shù)(顆粒類型、顆粒質(zhì)量分?jǐn)?shù)、顆粒粒徑、固化磁場(chǎng)強(qiáng)度)的MRE拋光墊對(duì)單晶SiC的磁控拋光效果，并分析MRE拋光墊的磁控材料去除機(jī)制。結(jié)果表明：相比四氧化三鐵磁性顆粒，羰基鐵粉(CIP)磁性顆粒制備的MRE拋光墊，在拋光SiC時(shí)材料去除率(MRR)提高了52.2%;CIP質(zhì)量分?jǐn)?shù)越大，拋光的MRR越大，... （共9頁(yè)）
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