電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)微尺度3D打印掩膜電解加工微結(jié)構(gòu)

摘要： 針對(duì)目前掩膜微細(xì)電解加工掩膜制作工藝復(fù)雜、微結(jié)構(gòu)加工精度差等問題，提出電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)微尺度3D打印掩膜與陰極振動(dòng)脈沖電解加工新方法。充分利用微尺度3D打印高分辨率、掩膜靈活性的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)聚乳酸(PLA)材料微米級(jí)掩膜的精確打印，結(jié)合陰極振動(dòng)進(jìn)給與脈沖電壓同步控制的電解加工工藝，取得了較好的加工效果。研究微尺度3D打印掩膜工藝規(guī)律，建立了陰極振動(dòng)與脈沖同步電解加工模型，仿真分析間隙動(dòng)態(tài)... （共17頁）