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雙面研磨技術(shù)研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)

機(jī)械工程學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù): 23 2024-01-19
摘要: 近年來,隨著半導(dǎo)體、光學(xué)制造等領(lǐng)域的飛速發(fā)展,對(duì)晶圓、光學(xué)窗口及密封環(huán)等薄平板件的需求越來越大,加工質(zhì)量要求越來越高。雙面研磨具有加工應(yīng)力小、效率高等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于薄平板件的加工。為梳理雙面研磨技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀,重點(diǎn)綜述了雙面研磨的機(jī)理、工藝、應(yīng)用及裝備的最新研究進(jìn)展;分析了雙面研磨理論模型對(duì)工藝的優(yōu)化效果,總結(jié)了雙面研磨工藝的應(yīng)用現(xiàn)狀。此外,全面比較了行業(yè)內(nèi)代表性廠家雙面研磨裝... (共23頁(yè))

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