基于流量預測的波紋管泵流量脈動抑制控制方法

摘要： 隨著晶圓內部線寬減小，在晶圓制造的濕法清洗工藝中對超純水雜質顆粒的數(shù)量和直徑提出了更嚴格的要求，以提高晶圓生產的產量，因此，對作為流控部件的波紋管泵(BsP)有更高的要求。針對波紋管泵運行過程中流量脈動導致的超潔凈水顆粒雜質增加和晶圓良品率下降的問題，提出了一種基于神經網絡流量預測模型的流量脈動抑制控制方法。首先，闡述了波紋管泵的工作原理和流量脈動產生的原因；然后，介紹了波紋管... （共8頁）