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基于自適應(yīng)PI模型的壓電陶瓷驅(qū)動器精密定位方法

傳感技術(shù)學(xué)報 頁數(shù): 8 2024-03-15
摘要: 由于具備較高的定位精確度,壓電陶瓷驅(qū)動器在超精密加工、微納米測試等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,然而壓電陶瓷固有的遲滯性嚴(yán)重影響其定位精確度。研究了驅(qū)動范圍對壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯性的影響,實(shí)驗(yàn)得出遲滯性隨驅(qū)動范圍增大而顯著。而在壓電陶瓷驅(qū)動器的實(shí)際應(yīng)用中,驅(qū)動范圍是其主要的設(shè)置參數(shù)之一。為此,提出基于自適應(yīng)Prandtle-Ishlinskii(PI)模型的擬合方法,根據(jù)不同驅(qū)動范圍下獲得的遲滯... (共8頁)

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