E1310P和FMEE復(fù)配對銅膜CMP性能的影響

摘要： 針對化學(xué)機械拋光(CMP)中傳統(tǒng)唑類緩蝕劑毒性強、成本高，在表面形成堅硬鈍化膜難以去除等問題，在甘氨酸-雙氧水體系下，使用陰離子表面活性劑聚氧乙烯醚磷酸酯(E1310P)和非離子表面活性劑脂肪酸甲酯乙氧基化物(FMEE)復(fù)配替代傳統(tǒng)唑類緩蝕劑。通過去除速率、表面粗糙度和表面形貌等的實驗結(jié)果研究了E1310P和FMEE協(xié)同作用對CMP過程中表面質(zhì)量的影響。通過表面張力、電化學(xué)性能... （共9頁）