當(dāng)前位置：首頁 > 科技文檔 > 自動(dòng)化 > 正文

具有多孔雙微結(jié)構(gòu)層的柔性電容式壓力傳感器

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 9 2024-04-09
摘要： 電極和介電層的材料性能和表面結(jié)構(gòu)是決定柔性電容式壓力傳感器性能的關(guān)鍵因素。將碳納米管(CNT)與硅橡膠結(jié)合制備出拉伸性能優(yōu)良的斜線型微結(jié)構(gòu)電極層。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)/BaTiO3/SrTiO3復(fù)合材料制備多孔砂紙微結(jié)構(gòu)介電層。電極與介電層交界面構(gòu)成雙重微結(jié)構(gòu)以提升電荷攜帶能力。場發(fā)射掃描電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡觀測結(jié)果驗(yàn)證了上述微結(jié)構(gòu)的存在?；陔娙菽Ｐ偷姆治霰砻鳎?.. （共9頁）

開通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件