基于單質(zhì)量塊微納光柵泰伯效應(yīng)的雙軸MOEMS加速度計(jì)

摘要： 對(duì)一種基于單質(zhì)量塊微納光柵泰伯效應(yīng)雙軸微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計(jì)進(jìn)行了設(shè)計(jì)、加工與測(cè)試。利用有限元分析和時(shí)域有限差分法分別對(duì)雙軸加速度計(jì)的敏感結(jié)構(gòu)和光柵參數(shù)進(jìn)行仿真優(yōu)化。在保證加速度計(jì)高集成度的同時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)雙軸加速度的高精度測(cè)量，采用不同周期的兩組光柵進(jìn)行雙軸加速度檢測(cè)，通過磁控濺射工藝將兩組光柵結(jié)構(gòu)沉積在質(zhì)量塊的不同區(qū)域，最終通過陽極鍵合方式實(shí)現(xiàn)該雙軸MOEMS加速... （共7頁）