投影微立體光刻技術在微流控芯片領域的研究進展

摘要： 對投影微立體光刻(PμSL)技術在微流控芯片領域的優(yōu)勢進行了簡要概述，介紹了其技術原理以及數(shù)字微鏡設備(DMD)的工作機制。分析了影響PμSL技術提高XY平面和Z軸打印分辨率的因素，重點討論了通過優(yōu)化光學系統(tǒng)、樹脂配方、打印方式及圖像算法等途徑以提高單步制作微流控封閉管道Z軸分辨率的技術方法，并介紹了PμSL技術在多材料打印領域的研究進展。此外，對近年來國內外利用PμSL技術制... （共12頁）