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WO3/β-Ga2O3異質(zhì)結(jié)深紫外光電探測(cè)器的高溫性能

物理學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 9 2023-06-19
摘要： 得益于高達(dá)4.8 eV的禁帶寬度,超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵(Ga2O3)在深紫外探測(cè)領(lǐng)域具有天然的優(yōu)勢(shì).考慮到光電探測(cè)器在高溫領(lǐng)域具有十分重要的用途,本文研究了一種WO3/β-Ga2O3異質(zhì)結(jié)深紫外光電探測(cè)器以及高溫對(duì)其探測(cè)性能的影響.利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)制備了Ga2O3薄膜,并采用旋涂和磁控濺射技術(shù)分別制備了WO3薄膜和Ti/Au歐姆電極.在... （共9頁(yè)）

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