KrF深紫外光刻投影物鏡光機(jī)熱集成分析與優(yōu)化

摘要： 提出了一種融合新型支撐方式與靈敏度分析的光機(jī)熱集成分析與優(yōu)化方法，用于設(shè)計(jì)超高精度深紫外光刻投影物鏡系統(tǒng)。首先，采用軸向多點(diǎn)與周向三點(diǎn)膠接支撐相結(jié)合的新型支撐方式，實(shí)現(xiàn)了212.51 mm口徑光學(xué)元件的超高精度定位要求。其次，通過對光學(xué)元件進(jìn)行熱力耦合分析，驗(yàn)證了光機(jī)系統(tǒng)的合理性。然后，在光機(jī)熱集成分析條件下，分析了單個光學(xué)元件的靈敏度，以及全部光學(xué)元件表面變形對整體光學(xué)系統(tǒng)波... （共11頁）