粘-慣性耦合節(jié)流靜壓氣浮軸承微振動(dòng)特性研究

摘要： 小孔節(jié)流氣浮軸承因結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、剛度較高等優(yōu)點(diǎn)在超精密加工中獲得了廣泛的應(yīng)用。然而由于小孔節(jié)流氣浮軸承存在微振動(dòng)，限制了超精密加工表面粗糙度的進(jìn)一步提升。為了抑制小孔節(jié)流氣浮軸微振動(dòng)，文章提出了一種新型粘-慣性耦合節(jié)流氣浮軸承，通過(guò)數(shù)值模擬的方法研究了新型節(jié)流器的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)氣浮軸承微振動(dòng)特性的影響，在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了試驗(yàn)平臺(tái)對(duì)新型氣浮軸承振動(dòng)特性進(jìn)行測(cè)試。研究結(jié)果表明，粘-慣性耦合節(jié)... （共7頁(yè)）