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FeGa膜/AT切石英晶片雙面復(fù)合蝶形諧振磁場傳感器

儀器儀表學(xué)報(bào) 頁數(shù): 9 2024-03-15
摘要: 蝶形磁致伸縮膜由于磁匯聚,其中心區(qū)域的磁致伸縮應(yīng)變增強(qiáng),但是和矩形AT切石英晶片復(fù)合時(shí),磁膜耦合至矩形晶片電極區(qū)的應(yīng)變會向周圍無磁膜區(qū)域擴(kuò)散,降低應(yīng)變對晶片厚度剪切振動的作用,降低磁場傳感器靈敏度。提出AT切石英晶片和FeGa膜形狀一樣的蝶形諧振磁場傳感器,蝶形晶片可以將蝶形磁膜增強(qiáng)的晶片應(yīng)變匯聚至晶片電極區(qū),以提高傳感器靈敏度。仿真結(jié)果預(yù)測,在23.8~118.9 Oe的磁場... (共9頁)

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