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高精度NiCr/NiSi薄膜熱電偶高溫測試系統(tǒng)

儀表技術(shù)與傳感器 頁數(shù)： 6 2024-02-25
摘要： 針對航空發(fā)動機(jī)渦輪葉片和燃燒室內(nèi)壁等高溫惡劣環(huán)境下對溫度測量的迫切需求，提出了一種基于薄膜熱電偶的高精度測溫方法。采用磁控濺射法在SiC襯底上制備了NiCr/NiSi薄膜熱電偶。完成了薄膜熱電偶的設(shè)計(jì)與制備，并設(shè)計(jì)了一套高精度溫度數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，主控芯片采用STM32,數(shù)據(jù)采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,實(shí)現(xiàn)了對高溫惡劣環(huán)境下溫度數(shù)據(jù)的實(shí)時采集。結(jié)果表明：設(shè)計(jì)制備的N... （共6頁）

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