基于微形變分析的電容式MEMS加速度計溫漂誤差精密估計方法
系統(tǒng)工程與電子技術
頁數(shù)： 9 2023-12-12
摘要： 針對傳統(tǒng)的電容式微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度計(capacitive MEMS accelerometers, CMA)溫漂誤差(temperature drift error, TDE)補償方法存在非精準溯源TDE致使TDE估計精度低、反復嘗試估計模型構型導致構建過程復雜繁瑣的問題，提出基于微形變分析的CMA ... （共9頁）
APP 