高性能光學(xué)制造
機(jī)械工程學(xué)報(bào)
頁數(shù): 14 2023-09-04
摘要: 聚變點(diǎn)火、同步輻射、光刻機(jī)、深空探測(cè)、偵察預(yù)警等高端裝備要實(shí)現(xiàn)一系列前所未有的極端性能,并朝著多樣化和復(fù)雜化的方向發(fā)展。強(qiáng)光元件、同步輻射反射鏡、掩膜版和光刻物鏡、深空探測(cè)X射線反射鏡等關(guān)鍵光學(xué)元件是這些系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)聚焦、極高能量輸出、極高峰值功率、極端尺寸光束聚焦和納米尺度精確圖案轉(zhuǎn)印等極端性能的關(guān)鍵。要實(shí)現(xiàn)這些高端裝備的極端性能,對(duì)核心關(guān)鍵元件的光學(xué)制造提出了高精度、低損傷、低... (共14頁)