觸針式表面形貌測(cè)量?jī)x探針幾何特性引起的失真機(jī)理與識(shí)別方法
計(jì)量學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 7 2024-03-23
摘要: 觸針式表面形貌測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于表面粗糙度、幾何形狀和波紋度等參數(shù)的測(cè)量,但探針與被測(cè)表面交互時(shí)所產(chǎn)生的卷積效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的失真。通過分析探針幾何特性引起的失真機(jī)理,將失真按其特性分為典型失真和復(fù)雜失真。針對(duì)探針球形針尖和錐角復(fù)合效應(yīng)引起的失真現(xiàn)象,提出了一種復(fù)雜失真的多模態(tài)識(shí)別方法。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:相較于形貌測(cè)量?jī)x單模態(tài)識(shí)別典型失真的限制,該方法可以有效識(shí)別形貌測(cè)量結(jié)果中的復(fù)... (共7頁(yè))