一種新的大行程垂直納米運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì)與控制研究

摘要： 在大行程高精度垂直運(yùn)動(dòng)中，工作臺(tái)的設(shè)計(jì)及穩(wěn)定控制是關(guān)鍵因素。因此設(shè)計(jì)一種新型的具有平衡機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)垂直方向上大行程納米穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。所研究工作臺(tái)采用N331壓電直線電機(jī)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，通過(guò)空氣靜態(tài)導(dǎo)軌懸浮，設(shè)計(jì)Z軸平衡系統(tǒng)降低垂直向電機(jī)驅(qū)動(dòng)負(fù)載。利用步進(jìn)控制方式完成大行程驅(qū)動(dòng)，模擬方式實(shí)現(xiàn)微位移精密驅(qū)動(dòng)控制。所提出的驅(qū)動(dòng)與控制策略，可實(shí)現(xiàn)100 mm垂直方向上高精度快速精密驅(qū)動(dòng)。... （共7頁(yè)）