光譜共焦顯微技術(shù)研究進展

摘要： 光譜共焦顯微技術(shù)結(jié)合了共焦顯微鏡的高空間分辨率和光譜分析的高波長分辨率，憑借精度高、適用性強、無損檢測等特性，廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)療和半導(dǎo)體芯片等領(lǐng)域。首先介紹點光譜共焦系統(tǒng)的原理，指出點光譜共焦檢測效率低的缺點。其次，針對光譜共焦顯微技術(shù)的關(guān)鍵性能指標改善，闡述了在光源、色散物鏡和光譜信號檢測等方面所取得的主要成果，并對各類光源進行定性對比。隨后展示光譜共焦顯微技術(shù)的掃... （共13頁）