非同軸并行彩色共聚焦測(cè)量系統(tǒng)表面傾斜角度誤差分析及校正

摘要： 針對(duì)非同軸式并行彩色共聚焦測(cè)量系統(tǒng)在被測(cè)物表面傾斜時(shí)存在的測(cè)量誤差，提出了一種誤差補(bǔ)償方法。該方法使用兩塊標(biāo)準(zhǔn)量塊搭建的臺(tái)階作為被測(cè)物進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，首先使樣品橫向運(yùn)動(dòng)，對(duì)采集的表面高度數(shù)據(jù)進(jìn)行直線擬合獲得傾斜表面的線性公式，再利用獲得傾斜表面直線的斜率與傾斜角度之間的關(guān)系，得到表面傾斜角度，并通過(guò)三角函數(shù)關(guān)系計(jì)算出每個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的誤差，最終通過(guò)補(bǔ)償?shù)姆绞较虮砻鎯A斜產(chǎn)生的數(shù)據(jù)誤差。為... （共12頁(yè)）