基于二維混合式位置編碼的高精度測角

摘要： 針對具有精密旋轉軸系類的高端制造裝備或精密測量儀器，其旋轉角度采用傳統圓光柵難以消除偏心誤差對測量角度精度的影響，提出了一種基于二維混合式位置編碼的旋轉角度高精度測量方法。該測角系統由一個二維混合式位置編碼盤、兩個CCD相機和遠心鏡頭組成，二維混合式位置編碼盤被固定在精密旋轉軸系上以獲得其旋轉角度。然后，建立了測角模型并從數學上證明了測角精度與安裝偏心無關。利用多齒分度臺對已提... （共8頁）