可見光減反射膜薄層控制誤差的分析與性能優(yōu)化

摘要： 為提升光學鏡頭的成像質量，消除雜散光的影響，以K9玻璃為基底設計可見光波段平均反射率小于0.1%的減反射膜。采用電子束離子輔助沉積的制備方式，針對薄層敏感度高、光譜變化大等問題，通過建立穩(wěn)定控制膜層厚度的數(shù)學模型來減小膜厚誤差，提高制備精度和成膜穩(wěn)定性。對減反射膜進行環(huán)測實驗，優(yōu)化調整工藝參數(shù)，側重提高減反射膜的硬度和耐水煮能力。實驗結果表明，最終制備出的減反射膜在420～68... （共11頁）