一種非接觸式光學(xué)微腔液壓測量系統(tǒng)

摘要： 為滿足在狹小腔室中測量液體壓強的需求，設(shè)計了一種非接觸式光學(xué)法布里珀羅微腔液壓測量系統(tǒng)，其中，光學(xué)微腔采用雙光子三維打印技術(shù)制備，膜結(jié)構(gòu)尺寸僅為350μm,設(shè)計的膜厚分別為4μm和6μm。系統(tǒng)主要采用嵌入式設(shè)計與衍射光柵光譜模塊互聯(lián)，實時采集光學(xué)微腔干涉光譜信號，實現(xiàn)了高精度光譜動態(tài)解調(diào)。實驗結(jié)果表明，室溫(25℃)下，4μm膜厚的微腔液壓靈敏度高達398 pm/kPa,系統(tǒng)分... （共7頁）