面向MEMS質(zhì)譜儀離子源的場發(fā)射針尖陣列研制及性能
微納電子技術(shù)
頁數(shù): 8 2024-04-29
摘要: 針對微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)質(zhì)譜儀應(yīng)用中對高工作氣壓和高電子電流的需求,同時保持MEMS技術(shù)在體積和質(zhì)量上的優(yōu)勢,研制了一種用于MEMS質(zhì)譜儀離子源的基于場發(fā)射原理的針尖陣列。通過MEMS加工技術(shù)實現(xiàn)了最大44個/mm~2的針尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圓上完成平行批量制造。實驗結(jié)果顯示,1 600個針尖組成的陣列在3.4×10
-3Pa氣壓下... (共8頁)