光柵MOEMS加速度計溫度特性

摘要： 由于硅微機械加速度計受溫度影響，導致硅彈性模量和熱膨脹系數(shù)發(fā)生變化，造成微光機電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計標度因數(shù)漂移、測量穩(wěn)定性下降等問題。首先，采用COMSOL軟件對光柵MOEMS加速度計微機械結構部分進行了溫度特性仿真，分析了硅彈性模量溫度系數(shù)和熱膨脹系數(shù)對光柵MOEMS加速度計微機械結構標度因數(shù)和零位的影響。其次，設計了溫控精度達0.1℃的溫度控制系統(tǒng)，并利用該系統(tǒng)對加... （共7頁）