大行程位移臺干涉測距系統(tǒng)的誤差補償
半導體光電
頁數(shù): 9 2024-04-15
摘要: 雙頻激光干涉儀作為常用的精密光學非接觸式測量設備,具有精度高、抗干擾能力強、靈活性好等優(yōu)點。然而環(huán)境溫度變化、機械振動等因素可能會影響其測量結果的準確性,并且影響程度會隨著測量光程的增加而增大。針對基于雙頻激光干涉儀的大行程位移臺測距系統(tǒng),首先研究了位移臺測距系統(tǒng)的測量原理,然后針對系統(tǒng)存在的各項誤差進行了分析和補償,最后,對系統(tǒng)進行綜合誤差補償實驗,短時間補償量達到10~(-... (共9頁)