基于同軸柯勒照明的大變倍比緊湊型顯微鏡設計

摘要： 為了實現(xiàn)大靶面、大變倍比顯微成像并解決同軸柯勒照明高集成度設計的問題，本文提出了一種基于同軸柯勒照明的大變倍比緊湊型顯微鏡光學系統(tǒng)設計方法。首先，對望遠鏡和顯微鏡連續(xù)變倍光學系統(tǒng)的成像原理進行了分析，并對正組補償式變倍顯微鏡光學系統(tǒng)的設計原理進行了理論分析。然后，提出把前固定組分解為準直組和匯聚組，并在兩鏡組間設計分光鏡，并通過共用透鏡組實現(xiàn)同軸柯勒照明系統(tǒng)的緊湊型設計。最后，... （共11頁）