正弦型中頻面形誤差對光學傳遞函數(shù)的影響

摘要： 中頻面形誤差（MSFSE）會導致光學系統(tǒng)發(fā)生小角度散射，影響系統(tǒng)性能。為了在光學設計和光學加工中制定合理的中頻面形誤差公差，就中頻面形誤差對光學系統(tǒng)調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）的影響進行了量化研究。在衍射受限條件下，推導出正弦型中頻面形誤差對光學系統(tǒng)MTF的影響的表達式并對其進行分析，然后通過光學設計軟件仿真驗證理論推導結果。假設光學系統(tǒng)光瞳上帶有正弦型中頻面形誤差，對光瞳函數(shù)進行傅... （共8頁）