凹非球面的非零位干涉檢測技術

摘要： 為了實現(xiàn)凹非球面的快速、高精度與通用化檢測，文中提出了一種將非球面當做球面，直接采用干涉儀檢測的非零位干涉檢測方法，并結合相應的數(shù)據(jù)處理方法，獲得非球面的面形誤差檢測結果。首先，介紹了該方法的檢測原理，建立了回程誤差、調整誤差的計算與去除模型，研究了面形誤差的數(shù)據(jù)處理方法。然后，以兩個不同非球面度的凹非球面為例，對其回程誤差和調整誤差進行了仿真計算，驗證了該方法的有效性。最后，... （共10頁）