光學元件雙面拋光加工面型預測模型

摘要： 針對雙面拋光難以建立穩(wěn)定去除函數(shù)進行加工面型預測這一問題，基于雙面拋光加工原理，采用坐標變換法推導出元件上下表面相對速度分布方程，然后運用ANSYS軟件仿真元件上下表面靜態(tài)壓力分布，采用多項式擬合法將仿真數(shù)據(jù)導入Matlab軟件擬合出元件上下表面壓力分布隨時間變化公式。根據(jù)Preston方程推導修正系數(shù)K表達式，通過4組拋光實驗數(shù)據(jù)計算出修正系數(shù)K值為2.588×10-15，構(gòu)... （共9頁）