基于視線標(biāo)定立體偏折術(shù)的離軸非球面面形檢測

摘要： 為實(shí)現(xiàn)離軸非球面光學(xué)元件面形的準(zhǔn)確高效測量，提出一種基于立體偏折術(shù)并結(jié)合點(diǎn)云匹配數(shù)據(jù)處理的方法，該方法可用于離軸非球面光學(xué)元件結(jié)構(gòu)參數(shù)的擬合與面形測量。首先，根據(jù)立體偏折術(shù)原理獲得離軸非球面的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，然后，利用點(diǎn)云數(shù)據(jù)與離軸非球面理論模型的幾何關(guān)系，通過非線性最小二乘算法對姿態(tài)誤差和非球面結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，最后，利用上述的幾何關(guān)系、姿態(tài)誤差和優(yōu)化后的結(jié)構(gòu)參數(shù)完成點(diǎn)云數(shù)據(jù)和理論... （共9頁）