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微柱鏡面周期性紋理結(jié)構(gòu)衍射雜散光研究

中國激光 頁數(shù): 6 2023-08-18
摘要: 為分析車床加工百微米級口徑微柱透鏡時(shí)遺留周期性刀紋產(chǎn)生的雜散光影響,構(gòu)建了周期結(jié)構(gòu)模型,分析了表面周期性紋理結(jié)構(gòu)對衍射雜散光的影響。利用傅里葉光學(xué)理論建立了該結(jié)構(gòu)的衍射理論模型,計(jì)算了在不同深度下的衍射光場強(qiáng)度分布規(guī)律,所獲得的理論結(jié)果與商業(yè)光學(xué)軟件VirtualLab的物理光學(xué)仿真和實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果基本一致,實(shí)現(xiàn)了對理論模型的理論與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,為進(jìn)一步解決該類光學(xué)器件中周期性加工刀... (共6頁)

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