FTIR

　　用于半導體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉換進而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。

　　目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的，光譜儀主要由光源（硅碳棒、高壓汞燈）、邁克爾遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀，把樣品放在檢測器前，由于樣品對某些頻率的紅外光產(chǎn)生吸收，使檢測器接受到的干涉光強度發(fā)生變化，從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線，借助傅里葉變換函數(shù)可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可有計算機完成。

　　用傅里葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟：

　　1）、分別收集背景（無樣品時）的干涉圖及樣品的干涉圖；

　　2）、分別通過傅里葉變換將上述干涉圖轉化為單光束紅外光；

　　3）、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。